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原子發射光譜儀，是將成分復雜的光分解為光譜線的科學儀器。它密封在一個溫度穩定的恒溫機箱里，設計小巧，操作簡易，設備的搬運和操作只要一個人就能完成。它的操作流程如下：

1.開機：先打開冷卻循環水箱電源和水泵開關，（使ICP水壓開關打開，特別注意水箱后面與水管相連的閥門處于打開狀態－手柄與水管同一方向為開）

2. 將ICP電源開關合上。 

3. 將ICP電源合上，打開排風扇開關→打開氬氣瓶氬氣，使輸出壓力控制在0.25Mpa→打開ICP載氣（觀察毛細管是否進樣）如進樣正常→將等離子氣打開到600－700L/h之間→暫時關閉載氣→（可以點火）按高壓開，同時按點燃→如沒有點燃將輸出功率打到1擋使之點燃→打開載氣→將輸出功率打到3擋→觀察火焰及參數指示KV，Ia，Ig（如太高或太低可以根據不同樣品調節輸出功率）。 

4. 此時打開軟件→點零級掃描→自動掃描（找零級光）找到零級光后→選擇建好的方法→后在分析測量下→將毛細管插入該方法的尋峰標→去尋峰→ 高標去衰減→測量STDHIGH下測量高標→保存→測量標準下用STDLOW測量低標后→點下一樣→保存→→將毛細管放入試樣容量瓶中→在分析測量下測樣。根據情況可打印結果等（換樣或換標時一定要將毛細管放純水中，以便把上一樣品或標樣洗下去）。 

5. 測完此類樣品，如在其它方法下需要測量，可選擇其它方法→再尋峰→衰減→測標→測樣等如上操作。 

6. 關機：從右到左將輸出功率調節到0→按高壓關（小園紅燈亮）→關ICP電源開關→關氬氣瓶氬氣→5分鐘關穩壓電源開關→10分鐘關冷卻循環水箱電源和水泵開關。 

7. 整理完畢現場后，方可離開。 

8. ICP原子發射光譜儀由專人定期維護，并建立維護和保養記錄。